05.01.2024
Arbeitszeit: 08:00 - 16:30 Uhr
Routinekontrolle der lithografischen Anlage
- Durchführung der täglichen Wartung der Fotolithografieanlage
- Überprüfung und Kalibrierung der Optiksysteme
- Ersetzen des Filters im Reinraum
Heute habe ich die regelmäßige Wartung unserer Fotolithografieanlage durchgeführt, um eine gleichbleibende Qualität bei der Strukturierung von Wafern sicherzustellen. Dabei habe ich die Optiksysteme kalibriert und den Filter im Reinraum ausgetauscht.
Lernziel: Ich habe gelernt, wie wichtig die regelmäßige Kalibrierung der Optiksysteme für die Präzision der Lithografiemuster ist.